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대만 반도체기업 TSMC가 반도체 미세공정의 핵심 장비인 극자외선(EUV) 장비를 내년까지 65대 추가로 구매할 예정이다. 총 구매비는 약 17조원의 비용을 든다. 현재, TSMC는 삼성전자보다 2배 이상 많은 EUV 장비를 보유하고 있으며, 고소득이 걸린 EUV 확보 경쟁에서도 앞서가는 것으로 꼽힌다. EUV의 주제조 기업인 네덜란드 ASML은 TSMC에게만 EUV 65대를 공급하는 것이라면, ASML의 총 생산량의 상당 부분이 TSMC에게 소유될 것이라는 전망이다. 반면, 삼성전자는 현재 EUV 장비 보유 대수가 TSMC의 절반 수준에 불과하며, 최근 주문한 EUV 대수도 5대에 불과하다. 더욱이, 삼성전자와 TSMC 모두 1나노 공정에 쓰이는 차세대 EUV 장비 '하이-NA EUV' 도입에 신중한 모습이며, 이는 연간 생산 대수가 5대에 불과하고 가격도 5000억원에 달해 일반 EUV 장비(2500억원)대비 2배에 달하기 때문이다.